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技術(shù)支持
單層芯片電容的制備
發(fā)布者 : admin 發(fā)布時(shí)間 : 2021/10/27 09:10:02


為適應(yīng)電子元件微型化、集成化以及高頻化發(fā)展趨勢(shì),單層芯片電容(SLC,Single Layer Capacitor)受到越來越多的青睞。單層芯片電容的結(jié)構(gòu)包括單層陶瓷介質(zhì)層和分別位于陶瓷介質(zhì)層相對(duì)的兩個(gè)表面的上電極層和下電極層。與多層芯片電容相比,單層芯片電容在工作時(shí)的電流路徑更遠(yuǎn),在射頻、微波下的等效串聯(lián)電阻和等效串聯(lián)電感更低,從而具有更高的自諧振頻率和品質(zhì)因數(shù)。

但是,單層芯片電容厚度薄,采用現(xiàn)有的燒結(jié)工藝容易發(fā)生變形問題,影響成品平整度和性能?,F(xiàn)有的加工電極層工藝一般是厚膜印刷電路方式,加工得到的電極層難以實(shí)現(xiàn)超薄的厚度,不利于實(shí)現(xiàn)單層芯片電容的微型化,而且電極材料損耗較大。采用一般的機(jī)械切割方式極易使芯片電容碎裂,成品率低。為了解決上述問題,廣東愛晟電子科技有限公司為大家介紹一種款單層芯片電容,其性能優(yōu)良,成品率高。

該單層芯片電容的制備方法,包括瓷漿制備、陶瓷生片制備、燒結(jié)、清洗、附著電極層、切割。其中,燒結(jié)曲線由升溫排膠段、快速升溫段、高溫段、保溫段、降溫段組成。室溫至400℃為升溫排膠段,升溫速率控制在0.8~1.5℃/min;400℃~1000℃為快速升溫段,升溫速率控制在3.5~5℃/min;1000℃至最高燒溫為高溫段,升溫速率控制在2~3℃/min;溫度達(dá)到最高燒溫時(shí)進(jìn)入保溫段,最高燒溫為1250~1320℃,保溫時(shí)間為2~3小時(shí);降溫段的降溫速率控制在4~5℃/min。電極層通過真空濺射工藝在陶瓷介質(zhì)主體的上、下表面分別附著單層或多層金屬電極層;真空濺射時(shí),真空度控制在5×10-3×10-3Pa,溫度控制在常溫至60℃,靶材濺射電流控制在1A-5A。切割采用激光切割,激光切割的切割速率為100mm~200mm/s,功率為5~12W,重復(fù)切割次數(shù)為1~4次。

這款單層芯片電容厚度薄、尺寸小,并具有超低的串聯(lián)等效電阻和串聯(lián)等效電感,可被應(yīng)用于混合微波集成電路、單片微波集成電路等。該單層芯片電容通過采用真空濺射工藝加工電極層,各電極層間均保證良好的接觸,使產(chǎn)品具有超低的ESR值,能顯著提高微波電路的有效增益,降低插入損耗。真空濺射工藝得到的電極層極薄,給產(chǎn)品厚度帶來的增加幾乎可忽略,滿足單層芯片電容的微型化要求,并節(jié)約電極材料。通過采用激光切割方式切割芯片電容,可根據(jù)所需要的外圍尺寸設(shè)定切割步距,精度高且芯片電容不易碎裂,有效解決一般機(jī)械切割方式易損傷單層芯片電容的問題。





參考數(shù)據(jù):

CN102013320A《一種單層芯片電容及其制備方法》

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